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电子洁净厂房空气净化一般规定


电子洁净厂房空气净化一般规定

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洁净室

 

空气洁净度

 

静压

 

洁净厂房

 

净化空调

1、洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级,应根据电子工业产品生产工艺特点和洁净室型式确定。

 

2、气流流型应根据各洁净室空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用。

 

3、下列情况之一者,净化空调系统宜分开设置。

1)、运行班次或使用时间不同。

2)生产过程中散发的物质对其他工序、设备交叉污染,对产品质量或操作人员健康、安全有影响。

3)对温湿度控制要求差别大。

4)洁净室(区)内工艺设备发热相差悬殊。

5)净化空调系统与一般空调系统。

6)系统风量过大的净化空调系统。

 

4、洁净室与周围的空间应保持一定的静压差,静压差应符合下列规定:

1)各洁净室与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定。

2)不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa。

3)洁净室与非洁净室之间的静压差大于5Pa.

4)洁净室与室外的静压差应大于10 Pa。

 

5、非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化处理。

6、洁净室的清扫方式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等因素确定。洁净室宜采用移动式高效真空吸尘器。对于空气洁净度为1-5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统,洁净室内的吸尘系统管道应暗敷。

 

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